實現工作臺最小驅動10納米通過采用本社制造的陶瓷制空氣滑塊和直線電機，世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作臺。并通過搭配使用高分解能光柵尺，實現工作臺最小驅動單位10納米。
標準搭載高性能加工液冷卻裝置通過標準搭載高性能加工液冷卻裝置，維持穩定的超精密加工。
主要構造采用陶瓷由于采用直線電機驅動方式，無需使用滾珠絲杠，避免了傳送機構部件產生扭曲或磨損。此外，通過在主要構造材料中采用陶瓷材質，保證了長期穩定的高精度。
